| 180 MS RF G | 180 HV BCD G2 | 130 MS RF G | 65 MS RF GP/LP | 40 MS RF G | 28 HPC+RF | 22 ULL | |
| 核心器件电压(V) | 1.8 | 1.8 | 1.2 | 1/1.2 | 0.9 | 0.9 | 0.8 |
| I/O器件电压(V) | 3.3 | 70 | 2.5/3.3 | 2.5 | 1.8/2.5 | 1.8/2.5 | 1.8/2.5 |
| MiM电容密度(fF/um2) | 1，1.5，2 | 1，1.5，2 | 1，2 | 1，2 | N/A | N/A | N/A |
| 最小预定面积(mm2) | 25 | 25 | 25 | 12 | 9 | 6 | 6 |
| MPW班次频率 | 每月 | 每月 | 每季度 | 每月 | 每月 | 每月 | 每2个月 |
| 回片时间(天) | 42 | 62 | 59 | 67 | 70 | 78 | 88 |
| 样片数量 | 40 | 40 | 40 or 100 | 100 | 100 | 100 | 100 |
